蓋世汽車訊 據外媒報道,泛林集團(Lam Research)首次推出生產型脈沖激光沉積(PLD)工具,以實現新一代基于微機電系統(MEMS)的麥克風和射頻(RF)濾波器。Lam的Pulsus?可編程邏輯器件系統(Pulsus? PLD system)可提供目前具有最高鈧含量的氮化鋁鈧(AlScN)薄膜,為實現具有增強性能、容量和功能的先進消費和汽車設備鋪平了道路。Pulsus現已面向部分專用設備制造商發貨。
(圖片來源:泛林集團)
Lam將Pulsus PLD加入產品組合,進一步擴展了其聚焦專業技術的沉積、蝕刻和單晶圓清潔產品的綜合范圍,以及該公司在這一領域的持續創新。
泛林集團副總裁兼客戶支持業務集團總經理Chris Carter表示:“憑借在特種半導體技術方面深厚的專業知識、在沉積領域經過驗證的能力,以及與法國原子能委員會電子與信息技術實驗室(CEA-Leti)的戰略合作,本公司在經過生產驗證的2300?平臺上為客戶帶來了這一變革性解決方案。這種新沉積技術有助于推進設備設計,加速特種市場的產品路線圖發展。”
通過先進薄膜驅動高性能設備
來源:第一電動網
作者:蓋世汽車
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